氧化铝陶瓷基板金属化是微电子封装和功率电子领域中的关键技术,其目的是在陶瓷基板表面沉积一层金属,以实现电气连接、 热管理和物理支撑作用。金属化工艺通常包括化学镀、物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、直接金属化(DBC)和活性金属钎 焊(AMB)等。本文通过概述氧化铝陶瓷基板金属化常见的工艺以及原理,分析总结研究进展。未来,随着新材料的开发和绿色环保工艺 的推广,金属化技术将进一步提升,以满足高性能电子器件和环保需求。
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